近日，海尔新能源在合肥智能制造园区投建的5.9MW/16.2MWh光伏配储项目正式并网运行。该项目作为海尔新能源在工业储能领域的重要实践，以全生命周期“七星标准服...
首片6寸薄膜铌酸锂光子芯片晶圆成功下线
合肥 2025-06-08 辰晓
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图片来源于滨湖区委宣传部 近日，位于无锡市滨湖区的上海交通大学无锡光子芯片研究院（CHIPX）取得重要进展——成功实现了国内首个6英寸薄膜铌酸锂光子芯片晶圆的下线，并突破了超低损耗、超高带宽的高性能薄膜铌酸锂调制
图片来源于滨湖区委宣传部
近日，位于无锡市滨湖区的上海交通大学无锡光子芯片研究院（CHIPX）取得重要进展——成功实现了国内首个6英寸薄膜铌酸锂光子芯片晶圆的下线，并突破了超低损耗、超高带宽的高性能薄膜铌酸锂调制器芯片的规模化量产技术，相关指标达到国际领先水平。
光量子芯片作为光量子计算的关键硬件载体，其研发和产业化对推动量子信息领域的发展具有重要意义。上海交通大学无锡光子芯片研究院是滨湖区在量子科技领域的重要布局项目，也是区域未来重点发展的产业方向。该项目于2022年底启动建设，并在国内率先建成首条光子芯片中试线。此次晶圆的成功下线标志着中试平台已全面实现量产能力。
薄膜铌酸锂作为一种高性能光电材料，因其超快电光效应、高带宽和低功耗等特点，在5G通信和量子计算等领域具有重要应用价值。然而，大尺寸薄膜铌酸锂晶圆的制备面临技术难题。通过中试平台先进的纳米级加工设备和快速工艺迭代能力，研发团队采用深紫外（DUV）光刻与薄膜刻蚀相结合的创新工艺，成功解决了晶圆级光子芯片集成的技术瓶颈。
无锡市滨湖区是江苏省重要的集成电路产业集聚区。区域内拥有国家集成电路设计中心、清华无锡研究院智能产业创新中心等多个高水平科研平台，并聚集了超过200家集成电路企业，形成了以中科芯、卓胜微、国芯微电子为代表的芯片设计产业集群。2024年，全区集成电路产业实现营业收入133.1亿元，同比增长20.16%。
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